- 中文名：六氟化硫
- 英文名：Sulfur hexafluoride
- CAS號：2551-62-4
- 熔點：-50.8℃
- 沸點：-63.8℃
- 蒸氣壓：21.5atm
- 產品等級：電子級：5N 工業級：4.5N、5N
- 電子級：47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工業級：6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
- 中文名：三氟化氮
- 英文名：Nitrogen trifluoride
- CAS號：7783-54-2
- 熔點：-208.5℃
- 沸點：-129℃
- 蒸氣壓：>1atm
- 產品等級：4.6N
- 規格 ：47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
- 中文名：磷烷安全源
- 英文名：Phosphine AGS
- CAS號：7803-51-2
- 熔點：-133℃
- 沸點：-87.7℃
- 蒸氣壓：53.32kpa（-98.3℃）
- 產品等級：5N7
- 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
- 中文名：砷化氫
- 英文名：Arsine
- CAS號：07784-42-1
- 熔點：-116℃
- 沸點：-62.5℃
- 蒸氣壓：1463kPa(20℃)
- 產品等級：6N、6N5
- 規格：40L
- 中文名：三氟化硼安全源
- 英文名：Boron Trifluoride AGS
- CAS號：07784-42-1
- 熔點：-126.8℃
- 沸點：-100℃
- 蒸氣壓：1013.25kPa(-58℃)
- 產品等級：3N
- 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
- 中文名：磷化氫
- 英文名：Phosphine
- CAS號：7803-51-2
- 熔點：-133℃
- 沸點：-87.7℃
- 蒸氣壓：53.32kpa（-98.3℃）
- 產品等級：6N、6N5
- 規格：44L
- 中文名：砷烷安全源
- 英文名：Arsine AGS
- CAS號：07784-42-1
- 熔點：-116℃
- 沸點：-62.5℃
- 蒸氣壓：1463kPa(20℃)
- 產品等級：5N5
- 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
-
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