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    “中國芯”關鍵材料國產化

    六氟化硫(SF?)
    • 中文名：六氟化硫
    • 英文名：Sulfur hexafluoride
    • CAS號：2551-62-4
    • 熔點：-50.8℃
    • 沸點：-63.8℃
    • 蒸氣壓：21.5atm
    • 產品等級：電子級：5N 工業級：4.5N、5N
    • 電子級：47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工業級：6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
    三氟化氮(NF?)
    • 中文名：三氟化氮
    • 英文名：Nitrogen trifluoride
    • CAS號：7783-54-2
    • 熔點：-208.5℃
    • 沸點：-129℃
    • 蒸氣壓：>1atm
    • 產品等級：4.6N
    • 規格 ：47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
    磷烷安全源(PH? AGS)
    • 中文名：磷烷安全源
    • 英文名：Phosphine AGS
    • CAS號：7803-51-2
    • 熔點：-133℃
    • 沸點：-87.7℃
    • 蒸氣壓：53.32kpa（-98.3℃）
    • 產品等級：5N7
    • 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氫(AsH?)
    • 中文名：砷化氫
    • 英文名：Arsine
    • CAS號：07784-42-1
    • 熔點：-116℃
    • 沸點：-62.5℃
    • 蒸氣壓：1463kPa(20℃)
    • 產品等級：6N、6N5
    • 規格：40L
    三氟化硼安全源(BF? AGS)
    • 中文名：三氟化硼安全源
    • 英文名：Boron Trifluoride AGS
    • CAS號：07784-42-1
    • 熔點：-126.8℃
    • 沸點：-100℃
    • 蒸氣壓：1013.25kPa(-58℃)
    • 產品等級：3N
    • 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氫(PH?)
    • 中文名：磷化氫
    • 英文名：Phosphine
    • CAS號：7803-51-2
    • 熔點：-133℃
    • 沸點：-87.7℃
    • 蒸氣壓：53.32kpa（-98.3℃）
    • 產品等級：6N、6N5
    • 規格：44L
    安全源砷烷(AsH? AGS)
    • 中文名：砷烷安全源
    • 英文名：Arsine AGS
    • CAS號：07784-42-1
    • 熔點：-116℃
    • 沸點：-62.5℃
    • 蒸氣壓：1463kPa(20℃)
    • 產品等級：5N5
    • 規格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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